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電子及半導體工業(yè)對超純水水質(zhì)有什么要求？
發(fā)布時間：
2019-07-23
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在電子工業(yè)的生產(chǎn)工藝中，相當多的工序要進行化學處理，而電子產(chǎn)品的清洗和化學藥劑的制備都直接或間接地要利用到純水或超純水。隨著電子工業(yè)的發(fā)展，尤其是以超大規(guī)模集成電路為代表的半導體產(chǎn)業(yè)的發(fā)展，對純水的水質(zhì)提出了更高的要求，下表所列為美國材料測試協(xié)會（ASTM）根據(jù)半導體特性而制定的超純水水質(zhì)要求。
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